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正文 第518章 与成光所合作
于重光湖研院的新镜头和双胶工艺还有光刻机双工件台智能联动镜头像场精密校准系统充满了好奇,这些技术他以往只在与国外专家交流时隐约有所耳闻,但苦于西方技术封锁,从来看不到任何西方发表的学术论文上对此有过任何关于这些技术的阐述,如今听说重光居然搞了出来,这叫他如何能不兴奋!如何能不吃惊!如何能不好奇!

    马所长心痒难奈之下当即表示,愿意和重光湖研院合作,希望双方能达成技术共享,协做进步。

    在他看来,即便湖研院因为技术不成熟,达不到既定目标,也起码是掌握了一些先进技术的,否则重光这家国内近两年来声名鹊起的公司又怎肯出手从军方把214所给吃下来呢?还给了一年三个亿的研发经费啊!这笔巨款在国内当下来说,完全足够运营一个国家级科研院所了!即便重光不成功,对成光所自己的技术开发也一定能起到引导和启发。

    当然他心里还是存在疑惑,觉得从军方214所改制而来的湖研院不可能有这么高明的技术,但好奇心还是驱使他决定派人过去一探究竟,希望能从湖研院那里得到些技术启发,为成光所今后技术开发提供一定借鉴。

    之后马所长果然没有食言,湖研院拿到第一台光刻设备时,仅落后北都微电子中心一周而已,据前来湖山负责安装的成光所工程师说,这台设备其实比北都微电子中心的那台更好些,在复制时进行了一些改进。

    两个月后湖研所又拿到了成光所制造的第二台光刻机,而此时成光所也第一次见到了重光的新镜头,这套价值550万由长光所根据湖研所提供的图纸进行加工组装的具有二十片镜片五个套筒完整微气压调节系统和纳米级激光校准系统的高级镜头组立刻就让成光所负责技术合作的科学家和工程师们目瞪口呆,觉得湖研所里一定有不世出的奇人,这种神器说是十年磨一剑设计出来的也不过分啊。

    按照湖研院的安排,成光所交付的第一台光刻机被用于0.8微米制程下的流片与双胶涂覆工艺的制程实验,这第二台自然是要用于镜头改装的,将来的第三台是要进行双工件台智能联动镜头像场精密校准项目的。

    经过连续几个月的合作之后,成光所现在对重光湖研院的技术佩服的五体投地,对他们的三大技术路线再也没有任何怀疑,马所长前后已经来过湖研院三次,每次都带着激动和兴奋,对湖研院在项目上的每一次进展都啧啧称奇,对于幕后主导这三大重点技改项目的胡一亭更是惊为天人,马所总是以天才胡一亭称呼那位还没见过面的心仪人物,断言其必然成为国内ic业未来领袖。

    所以这次胡一亭按照日程回到湖山之后,就在湖研院见到了希望和他面谈的马佳光所长还有成光所目前驻扎湖研所的的二十几位顶尖科学家和工程师组成的团队。

    双方经过商议后,胡一亭和马佳光所长共同敲定了重光湖研院和成光所共同研发0.35微米先进光刻系统的实施计划。

    “目前重光第一晶圆厂已经进了设备,用的是asml的i-line光刻系统,他们这台光刻机,每套设备价值400万美元,马所,如果我们重光能搞定实验室技改,希望你们成光所能尽快拿出整套样机,到时候我们重光还按照400万美元的价格向你们采购,今后重光公司要新建的0.35微米制程晶圆厂也将尝试采用国产光刻系统!中国自己的设备如果不在生产中大量使用,我们永远都发现不了问题,也就没法进步,重光愿意为中国设备的进步赴汤蹈火,吃亏吃苦!”

    马佳光所长听了胡一亭这话感动异常:“一言为定!我同意胡总你的说法,只有生产实践才能使国产设备不断提高水平!研制出设备不等于量产设备!最终制造出的设备能否长时间稳定持续生产,这才是最大的考验!跑第一张wafer的刻蚀率与
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